MEMS / Mikrostrukturen

• Optimierung von Frequenzgang
• Bewegungsanalyse 
• dynamische Charakterisierung

MEMS / Mikrosystemtechnik

Mikrosysteme bieten gegenüber konventionellen „Makrosystemen“ viele Vorteile wie niedrigere Produktionskosten, hohe Funktionsdichte, Zuverlässigkeit, und neue Funktionalitäten.

Um ihre kleinsten Bewegungen zu erfassen ist ein sehr leistungsfähiges Messgerät erforderlich, das neben einer hohen Auflösung (idealerweise im Picometer Bereich) auch eine hohe Frequenzbandbreite besitzt. Für diese Anforderungen sind Laser Doppler Vibrometer bestens geeignet, zudem arbeiten sie berührungslos und rückwirkungsfrei.

Beispielsweise:
 
• als Werkzeug zur Optimierung von Frequenzgang und Güte bei MEMS Filter und Oszillatoren
• zur Schwingungsanalyse von Cantilevern (Messnadel eines Rasterkraftmikroskops)
• zur Messung der Membranverformung bei MEMS-Drucksensoren
• Entwicklungswerkzeug für Mikrosystem Beschleunigungssensoren (Accelerometer)
• Bewegungsanalyse von MEMS Schaltern und Relais
• dynamische Charakterisierung von carbon nanotubes
• Resonant schwingende Scannerspiegel
• Systematische Untersuchung dynamischer Eigenschaften von MEMS Mikrofonen

Ihr Kontakt

Produkt Information:

Tel.: +49(0)6151-6608191

Mail: info@optomet.de